等离子电浆机等离子清洗机等离子处理机等离子打磨机
更新时间：2020-11-08
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· 生物技术· 电子技术· 精密工程· 研究和开发· 半导体技术· 小批量生产 · 塑料技术· 医疗技术· 微系统技术· 太阳能电池技术 · 纺织技术 基本设备 腔室容积：2L、5L、10L、20L可选 供电电源： 220 V 发生器 频率： 40 kHz: 功率 0 - 1000 W； 13.56 MHz: 0 - 600 W 所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型 真空腔室 · 圆形不锈钢腔体 · 矩形铝合金腔体 · 圆形石英玻璃腔体 工艺气源 质量流量控制器 或针阀流量计 两路或三路工艺气体 内置承载件 产品托盘、石英玻璃舟皿、氧化铝板、石英玻璃隔板 电极 单层或多层 内置或外置型 感性或容性耦合电极 控制系统 PLC+人机界面 压力测量控制 采用PID压力控制系统 真空泵 按需配置 保护系统
地址：红星社区鑫兆泰大厦5001
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